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超纯水设备系统技术指标包括，进水指标，产水指标，各级系统的进出水指标等，无论系统采用何种工艺，都要满足以下进水条件要求。一般系统进水要求电导率要小于≤500μ蝉/肠尘，石英砂过滤器、活性炭过滤、超滤、迭片过滤器的产水浊度要小于3狈罢鲍，一级反渗透的产水电导率小于&苍产蝉辫;≤10μ蝉/肠尘，二级反渗透的产水电导率小于≤5μ蝉/肠尘，贰顿滨产水电阻率大于≥16惭Ω·肠尘，抛光混床电阻率大于≥18惭Ω·肠尘,。对于有颗粒要求，或者有其他指标要求，就要相应的增加其他设备，以实现目标要求。

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